4、赢得国际平等对话
100纳米离子注入机是芯片制造装备的核心设备,然而,我国在离子注入机核心技术上始终技不如人,这种局面一直使得国内从事离子注入机技术的科研人员抬不起头来。中科院微电子研究所副所长叶甜春告诉记者,国外曾有人说过,“把图纸给你们,看你们怎么做”,他们不相信中国有这样的技术攻坚能力。“我一直记得一件很耻辱的事,一次我们在美国一家著名的同业公司参观,别人不让我们进入整装生产线参观,说‘你们看了,差距就要缩短十年。’”唐景庭告诉记者。由于国内没有高精尖的集成电路制造装备,只能从国外高价购买,“后来我们去判别那些买来的装备,根本不值!很多都是国外淘汰的,有的买回来就是废铁。就这么赚走了我们的血汗钱啊!”
现在,这一尖端课题得到攻克,在国际谈判时就有了平等的对话基础,“这种时候,才是我们最兴奋、心里最舒畅的时候!”唐景庭说。